随着加工要求的日益提高，金属零件的小孔加工要求也越来越高．特别是在微小孔加工方面，不但要求加工的孔径越来越小，而且光洁度的要求也越来越高．

普通电火花穿孔机的孔径加工范围在Φ0.3～Φ3.0mm之间，最大深径比在1:300(Φ1mm的电极最大加工深度可达300mm)，小孔加工光洁度是跟加工效率成反比的，也就是说加工速度越快光洁度越差，一般的电火花穿孔机加工光洁度在6.5微米左右．

现在专用的电火花穿孔机最高光洁度可以达到0.8微米左右．